Бельгийский исследовательский центр Imec рад сообщить о приобретении современного EUV-сканера TWINSCAN EXE:5200 от компании ASML, который имеет числовую апертуру 0,55. Это устройство гарантирует выдающееся разрешение в производстве полупроводников, что увеличит интерес производителей чипов к этой технологии. Новый сканер превзойдет существующие системы EUV с NA 0,33, обеспечивая высокую производительность и стабильность процессов. Установка будет функционировать в чистом помещении Imec и станет ключевым элементом пилотной линии NanoIC, нацеленной на разработку чипов с техпроцессом менее 2 нм.

Система EXE:5200 предложит преимущества, позволяя печатать более мелкие структуры за один проход и обеспечивая высокую продуктивность. Исследования, проводимые совместно с ASML в Вельдховене, уже привели к мировым рекордам. Ожидается, что полная готовность установки наступит к концу 2026 года, что позволит производителям чипов получить ранний доступ к следующим поколениям технологий.